高度灵活的超声波系统，用于微结构的过程安全最终清洗

Kein Partikel größer 1 µm

微结构领域的技术进步和更大基板的加工，使得POG Prazisionsoptik Gera需要一个新的终端清洗系统。. Überzeugt hat das Anlagenkonzept der UCM AG. Es ermöglicht, 能够清洗未加工的晶圆以及结构和涂层基板。. “无颗粒大于1µm”的清洁度要求在工艺安全方面得到满足。.

1991 wird das Zeiss-Werk in Gera geschlossen. Ehemalige leitende Mitarbeiter entscheiden, POG Prazisionsoptik Gera GmbH的诞生是为了保持和进一步发展光学制造的传统，在其Gera工厂的管理布局。. Heute beschäftigt das Unternehmen 140 Mitarbeiter. Sie entwickeln und produzieren einerseits kundenspezifische, präzisionsoptische Einzelteile, Komponenten und Geräte für den gesamten optischen Spektralbereich. Diese Produkte werden weltweit von Kunden aus dem Maschinenbau, der Messtechnik, industriellen Bildverarbeitung, Medizin- und Lasertechnik, Halbleiterindustrie und Luft- und Raumfahrt eingesetzt. 另一方面，该公司已成为标准化和定制光学微结构的制造商。, beispielsweise Strichplatten, Skalenscheiben, USAF-Testtargets, Mikroblenden und Kalibriernormale, international einen Namen gemacht. 在这方面，POG也可以在内部进行整个开发和制造过程。. “我们最近扩大了微结构的生产，考虑到技术的可能性和可加工基板的大小。. Dadurch wurde auch eine neue Anlage für die Endreinigung erforderlich“, berichtet Jan Schubach, ein Geschäftsführer der POG.

Höchste Reinheit gefordert

光学微结构主要由b270玻璃和石英玻璃以及陶瓷和玻璃陶瓷材料制成。. Eine Endreinigung, durch die Staub, 必须去除最细的抛光剂和指纹残留物, 在未处理的基板上以及在结构和涂层之后进行. 因为在某些情况下，只有2 μ m的结构被应用到基板上。, gibt es die Sauberkeitsanforderung: kein Partikel größer 1 µm. POG与外部顾问共同开发了这些非常苛刻的清洁任务的解决方案，并与各种系统制造商进行了讨论。.

Eine flexible statt mehrerer spezialisierter Reinigungsanlagen

“这些是针对特定应用的不同清洗概念，如口罩清洗或半导体行业特定基材配置的清洗。. 为了完成我们的任务，我们可能需要三个不同的工厂。. Wir haben uns daher an UCM gewandt. 我们已经从这家系统制造商那里得到了一个内部清洁系统，我们的顾问在其他项目中也与该公司有过良好的经验。”, erklärt Jan Schubach. 与POG和顾问一起，瑞士UCM AG进行了修订。, ein Unternehmen der Ecoclean Gruppe, ihr Anlagenkonzept und passte es an. “UCM非常灵活地接受了我们的建议，并贡献了自己在光学领域建造清洗机方面的丰富经验。”, erinnert sich der Geschäftsführer.

该设施共有11个监测站，其中7个是潜水站。. Sie sind für folgende Prozessschritte ausgelegt: Nass-Beladen, Reinigen mit Mehrfrequenzultraschall (40 und 80 kHz), Reinigen mit Megaschall, Spülen, Feinspülen, Infrarot-Trocknen über ein getaktetes Transportband und Entladen.

湿装以及所有的清洗和冲洗过程都是用VE(全盐)水进行的。. 根据清洗程序的不同，冲洗器的水是级联的。, verworfen oder einem getrennten Ablauf zugeführt. Dies trägt zur hohen Reinigungsqualität bei, ebenso wie der von UCM entwickelte Vierseitenüberlauf bei allen Becken. 洗涤剂或洗涤剂从底部注入浴缸。, nach oben transportiert und läuft dann an allen Seiten über. 因此，净化后的污染立即从池中清除。. 一方面，这可以防止零件在拆卸过程中再次受到污染，也可以防止污垢在盆内积聚。. Zum anderen werden die Substrate intensiv und gleichmäßig behandelt.

Eine zusätzliche Besonderheit weisen die Spülbecken auf. 在这里，水被泵入盆地，压力如此之大，以至于湍流形成。. Diese reichen in Verbindung mit der Warenbewegung derzeit aus, um die Substrate ohne Ultraschallunterstützung zu spülen. 快速轻松地应对未来的挑战, 随后准备了超声波系统和控制技术的集成。.

Vollautomatische Reinigungsprozesse im Reinraum

Die Reinigungsanlage ist in einen Reinraum integriert. Die zu reinigenden, 高达10英寸的基板以特殊的盒式磁带的形式手动插入到工厂的运输框架中。. 然后，员工选择适当的部件特定的清洗程序。. Es ist in der Anlagensteuerung hinterlegt und beinhaltet, 每个池的治疗参数，如超声波的功率和频率，以及停留时间. 确保每个病房的治疗时间得到严格遵守, 灵活的控制允许输入“优先级时间”. “我们目前在不同的基板上有10个项目，在所有的清洁任务中都取得了出色的效果。, und das von Anfang an. 自2015年3月以来，该系统一直运行良好。. 在如此复杂的设施中常见的儿童疾病也没有发生。”, berichtet Jan Schubach zufrieden.

Autor: Doris Schulz